設計這些布局需要高精度。因此有足夠的分辨率和一種可能性高縮放requiered。layouteditor分辨率可設置在很寬的范圍內，通常設置為1納米。
一個更高的分辨率是沒有意義的atomar結構由于。這個決議的layouteditor可以繪制元素達4米。這是足夠的IC / MEMS的延伸通常小于0.1米。MEMS / IC產(chǎn)品多層次進行。
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